SIGMAKOKI/西格瑪光機斐索干涉儀 

斐索干涉儀 / IFS2-FZ-25

斐索干涉儀構造相對簡單，干涉光路短。

與前述的2種干涉儀相比，受振動或溫度變化的影響較小，工作更穩定。

常被用于測量反射表面的面精度。

品名	型號	數量	光軸高度 [mm]
激光組件	IFC2-L	1	171
空間濾波器組件	IFC2-SF	1	165
準直鏡組件	IFC2-CL	1	160
反射鏡組件	IFC2-M	1	173
半透半反鏡組件	IFC2-BS	2	178
屏幕組件	IFC2-SC	1

SIGMAKOKI/西格瑪光機斐索干涉儀 

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